Siri MYS – Sistem Plasma MYW10 Mendayakan proses rawatan permukaan wafer yang sangat fleksibel dan tinggi Dengan pertumbuhan pesat pasaran pemasangan elektronik dan semikonduktor, permintaan industri untuk kecekapan dan kebolehpercayaan pengeluaran terus meningkat. Dengan menghapuskan masa menunggu yang dikaitkan dengan pemprosesan plasma berasaskan vakum tradisional, peralatan pembersihan siri MYS memberikan daya pemprosesan yang jauh lebih tinggi dan hasil keseluruhan yang lebih baik, sambil memastikan pengendalian yang selamat bagi semua komponen elektronik yang sensitif.
Teknologi CKD bukan sahaja mempunyai stok mesin serba baharu, tersedia serta-merta.
Kami juga mempunyai perniagaan penyewaan yang terperinci, bersedia untuk memenuhi keperluan pengeluaran khusus anda sambil mengurangkan pelaburan awal anda dengan ketara. Hubungi kami untuk butiran lanjut.
CKD mempunyai pasukan jurutera profesional, bersedia untuk menyampaikan perkhidmatan kunci.
Untuk perdagangan mesin terpakai, sila hubungi kami melalui Whatspp atau e-mel.
Sistem plasma MYW10 menyampaikan proses rawatan permukaan wafer berkeupayaan tinggi yang sangat fleksibel.
• Sistem plasma argon tekanan atmosfera
• Pemprosesan kelompok plasma sebaris 100mm lebar; menawarkan kecekapan 2–5 kali lebih tinggi dan kos operasi lebih 30% lebih rendah berbanding kaedah tradisional
• 100% plasma neutral; selamat dan lembut pada komponen elektronik yang sensitif—tiada pengeboman plasma, elektrik statik, percikan api, arka, habuk, haba tinggi, riak permukaan atau sinaran UV, memastikan sifar kerosakan pada produk
• Proses kimia serba boleh: Proses O2 untuk menyingkirkan bahan cemar organik; Proses H2 untuk mengeluarkan oksida logam dan mengaktifkan permukaan produk
• Tidak menyebabkan pencemaran zarah atau perubahan kekasaran permukaan pada wafer
• Serasi dengan pengeluaran bingkai wafer dan pita, membolehkan penukaran pantas antara keduanya
• Memenuhi standard bilik bersih dan SEMI Kelas 10
Spesifikasi
Parameter Asas
MYW10
Keperluan Kuasa
AC 380V, 13kW, 20A, 50/60Hz
Keperluan Tekanan Udara
90psi (6bar)
Dimensi
2000 x 2800 x 2200 mm
Berat badan
2200 kg
Piawaian Pensijilan
SEMI S2/S6/S8
Ketepatan Kedudukan
XY: ±20 µm @ 3σ; Z: ±10 µm @ 3σ
Kebolehulangan Paksi-XYZ
XY: ±10 µm @ 3σ; Z: ±5 µm @ 3σ
Kelajuan Maksimum
1000 mm/s (XY)
Pecutan
1.0g
Sistem Pemacu
Servo AC
Spesifikasi Platform Kerja
Kaedah Memuatkan/Memunggah
OHT + Port Muatan + Lengan Robotik
Muatan Lengan Robotik
3 kg
Saiz Wafer yang Serasi
12 inci (300 mm)
Sistem Operasi Perisian
Windows 10
Perjalanan X/Y
400 mm / 500 mm
Perjalanan Z-Axis
20mm
Protokol Komunikasi
SECS/PERMATA
Julat Operasi
Kawasan Rawatan Plasma (W×D)
300×300mm
Sudut Sentuhan Air (WCA) selepas rawatan
WCA < 10° (wafer silikon)
Kaedah Rawatan Plasma
Proses O2 untuk penyingkiran bahan cemar organik Proses H2 untuk penyingkiran oksida logam
Keperluan Sistem Plasma
Kuasa RF
600W pada 27.12MHz
Gas Plasma Utama
Argon
Proses Gas
O2, N2, atau H2
Julat Tekanan Bekalan Gas
40–100 psi (0.3–0.7 MPa)
Teg Panas: Pengeluar Rantaian MYW10, Pembekal Rantaian MYW10, Borong Rantaian Industri Tahan Lama
Jika anda mempunyai sebarang pertanyaan tentang petikan atau kerjasama, sila e-mel atau gunakan borang pertanyaan berikut. Wakil jualan kami akan menghubungi anda dalam masa 24 jam.
Kami menggunakan kuki untuk menawarkan anda pengalaman menyemak imbas yang lebih baik, menganalisis trafik tapak dan memperibadikan kandungan. Dengan menggunakan tapak ini, anda bersetuju dengan penggunaan kuki kami.Dasar Privasi