Mudah mengendalikan rawatan permukaan untuk komponen sensitif
- Plasma argon yang boleh dihubungi
- Tidak menghasilkan percikan api, arka, habuk, sinaran UV atau haba yang berlebihan
- Tiada risiko nyahcas elektrostatik (ESD) untuk komponen elektronik sensitif (cth., wafer, bingkai plumbum, bahagian pembungkusan semikonduktor)
| Parameter Asas | Platform Sistem Rawatan Permukaan Plasma MYS |
| Keperluan Kuasa | 220 V, 2 kW, 10 A, 60 Hz |
| Keperluan Gas | 90 psi (6 bar) |
| Dimensi (W x D x H) | 1,200 x 770 x 1,400 mm |
| Berat badan | 650 kg |
| Pensijilan | CE |
| Ketepatan Kedudukan | XY: ±30 µm @ 3σ; Z: ±10 µm @ 3σ |
| Kebolehulangan Paksi X, Y, Z | XY: ±15 µm @ 3σ Z: ±5 µm @ 3σ |
| Kelajuan maksimum | 1,000 mm/s (X, Y) |
| Pecutan | 1.0 g |
| Resolusi kamera | 640 x 480 px (0.3 MP) |
| Sistem pemacu | Servo AC |
| Jenis penghantar | tali pinggang |
| Kapasiti beban penghantar | 3 kg |
| Lebar produk minimum | 50 mm |
| Lebar maksimum produk | 475 mm |
| Panjang produk minimum | 50 mm |
| Panjang produk maksimum | 350 mm |
| Sistem pengendalian perisian | Windows 7 |
| Julat ketebalan produk | 0.5–6 mm |
| Protokol komunikasi | SMEMA |
| Kawasan rawatan plasma (D x W) | 475 x 350 mm |
|
|
|
| Spesifikasi asas | Keperluan Sistem Plasma |
| Kuasa RF | 600W pada 27.12 MHz |
| Gas Plasma Utama | Argon |
| Proses Gas | O2, N2, atau H2 (yang lain tertakluk kepada ujian) |
| Julat Tekanan Bekalan Gas | 30–100 psig (0.2–0.7 MPa) |
Alamat
Tingkat 5, Bangunan 2, No. 182, Jalan Chang'an Xi'an, Bandar Chang'an, Dongguan, Wilayah Guangdong, China.
Tel
E-mel
